氦气净化装置

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制冷机与真空泵

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　　一种氦气净化装置，包括依次连接的进气口(1)，吸附筒(2)和出气口(3)，其中吸附筒(2)包括内筒(21)，被中间层包围( 22)在内筒(21)的圆周侧壁上，内部热交换管(23)设置在内筒(21)内，并且内筒(21)被填充以吸附气体杂质吸附剂，中间层 (22)充满液氮以提供低温环境，低温吸附装置还包括用于再生吸附剂的再生装置; 2)还提供了用于容易操作的温度测量点TI和用于测量中间层(22)中的液氮水平的液体测量点L1。