1200口径

Categories:大口径低温泵
Time of issue:2019-08-27 00:00:00
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Information

　　低温泵(又称冷泵)是一种利用低温冷凝和低温吸附原理抽气的超高真空获得设备。广泛应用于半导体、集成电路、光学镀膜、太阳能电池板、平板显示器、光电子器件和真空电子器件的制造工艺过程,是集成电路制造工艺设备PVD、离子注入的关键零部件之一。低温泵也用于各种空间环境模拟、高能物理、加速器、真空校准检测等真空应用设备中。

　　02专项成果：CP系列智能化低温泵、一台氦压缩机带多台低温泵的泵组系统。

1200口径低温泵

标准1200口径低温泵性能参数表

参数名称		1200口径
型号 Model		CP1200LN
接口法兰Inlet Flange (ISO，ANSI or customized)		ISO 1188
极限压力Ultimate Pressure		10-7Pa
抽速Pumping Speeds (l/s)	For H2O	150000
	For Air/N2	45000
	For H2	34000
	For Ar	32000
通导 Throughput（Torr.l/s）	For Ar	18
抽气容量Capacity （Std.l)	For Ar	7000
	For H2	80
空载降温时间 Cool Down Time (min)		240
运行工作液氮耗量 LN2 Consumption（l/hr）		16