
1200口径
1200口径
- Categories:大口径低温泵
- Time of issue:2019-08-27 00:00:00
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低温泵(又称冷泵)是一种利用低温冷凝和低温吸附原理抽气的超高真空获得设备。广泛应用于半导体、集成电路、光学镀膜、太阳能电池板、平板显示器、光电子器件和真空电子器件的制造工艺过程,是集成电路制造工艺设备PVD、离子注入的关键零部件之一。低温泵也用于各种空间环境模拟、高能物理、加速器、真空校准检测等真空应用设备中。
02专项成果:CP系列智能化低温泵、一台氦压缩机带多台低温泵的泵组系统。
1200口径低温泵
标准1200口径低温泵性能参数表
参数名称 |
1200口径 |
|
型号 Model |
CP1200LN |
|
接口法兰Inlet Flange |
ISO 1188 |
|
极限压力Ultimate Pressure |
10-7Pa |
|
抽速Pumping Speeds (l/s) |
For H2O |
150000 |
|
For Air/N2 |
45000 |
|
For H2 |
34000 |
|
For Ar |
32000 |
通导 Throughput(Torr.l/s) |
For Ar |
18 |
抽气容量Capacity (Std.l) |
For Ar |
7000 |
|
For H2 |
80 |
空载降温时间 Cool Down Time (min) |
240 |
|
运行工作液氮耗量 LN2 Consumption(l/hr) |
16 |
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