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制冷机与真空泵

制冷机与真空泵

制冷机与真空泵

500口径

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  低温泵(又称冷泵)是一种利用低温冷凝和低温吸附原理抽气的超高真空获得设备。广泛应用于半导体、集成电路、光学镀膜、太阳能电池板、平板显示器、光电子器件和真空电子器件的制造工艺过程,是集成电路制造工艺设备PVD、离子注入的关键零部件之一。低温泵也用于各种空间环境模拟、高能物理、加速器、真空校准检测等真空应用设备中。

  02专项成果:CP系列智能化低温泵、一台氦压缩机带多台低温泵的泵组系统。

 

500口径低温泵

 

低温泵

 

标准500口径低温泵性能参数表

 

参数名称

500口径

型号 Model

弯泵

———

直泵

CP500/ICP500

接口法兰Inlet Flange
(可根据用户要求定制)

CF 500

ISO 500

ANSI 20in (NW )

极限压力Ultimate Pressure

10-7Pa

抽速Pumping Speeds (l/s)

For H2O

30000

For Air

10000

For H2

12000

For Ar

8400

通导 Throughput(Torr.l/s)                  

For Ar

12

抽气容量Capacity (Std.l)

For Ar

5500

For H2

35

空载降温时间 Cool Down Time (min)

210

 

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